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產(chǎn)品詳情

TSI AeroTrak粒子計(jì)數(shù)器可使用AeroTrak ? 7950型高壓空氣擴(kuò)散器 (HPD) 配件測(cè)量高壓壓縮氣體系統(tǒng)中顆粒物污染。由于粒子計(jì)數(shù)器無(wú)法對(duì)高壓氣體采樣，因此需要HPD配件降低壓縮氣體的壓力，實(shí)現(xiàn)壓縮氣體系統(tǒng)潔凈度水平的評(píng)估。

特性與優(yōu)勢(shì)

• 兼容0.1 cfm AeroTrak 粒子計(jì)數(shù)器（包括遠(yuǎn)程式和手持式）和 AeroTrak 9001型潔凈室凝聚核粒子計(jì)數(shù)器。

• 監(jiān)測(cè)和測(cè)試ISO 8573-3 和 SEMI E49.8 標(biāo)準(zhǔn)限制條件

• 可將高達(dá) 120 psi (8.27 bar) 的氣壓降壓至近大氣壓

• 額定流量0.1 cfm (2.83 lpm)

• 無(wú)需手動(dòng)調(diào)整或校準(zhǔn)

• 可使用潔凈干燥空氣 (CDA)，氮?dú)?(N 2 ) 和氬氣 (Ar)

• 鈍化不銹鋼外殼可防止?jié)崈羰一瘜W(xué)品腐蝕

• 排氣過(guò)濾器可在高壓氣體源斷開時(shí)保護(hù)擴(kuò)散器免受污染